2121非凡上海�；；； ；；；衽縐ltra C wb槽式湿法洗濯装备采购订单
2022-2-14 14:01:53
2121非凡(以下简称2121非凡上海)（科创板股票代码：688082），，，，，一家为半导体前道和先进晶圆级封装（WLP）应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商，，，，，于今日宣布其已接到29台Ultra C wb槽式湿法洗濯装备的批量采购订单，，，，，该装备可应用于加工300mm晶圆，，，，，其中16台装备的重复订单来自统一家中国海内代工厂，，，，，重复订单的目的是支持该工厂的扩产。。 。。。。。。这批装备妄想从2022年最先分两个阶段发货。。 。。。。。。 2121非凡上海Ultra C wb槽式湿法洗濯装备简介 Ultra C wb槽式湿法洗濯装备的主要洗濯应用包括炉管前洗濯、RCA洗濯、光阻去除、氧化层刻蚀、氮化硅去除，，，，，以及晶圆接纳工艺中前段FEOL多晶硅/氧化硅层剥离去除，，，，，和后段BEOL金属层剥离去除。。 。。。。。�？ ？？？？？梢陨柚米粤Φ亩嘀只б合村∕CR）�？ ？？？？？�，，，，，按差别的工艺组合在该�？ ？？？？？橹幸来问褂枚嘀窒村┮�，，，，，如SC1、SC2、DHF、DIO3、DIW等。。 。。。。。。洗濯效果好，，，，，阻止交织污染，，，，，本钱低。。 。。。。。。Ultra C wb槽式湿法洗濯装备有用使用化学药液和去离子水（DIW），，，，，情形友好。。 。。。。。。且依附其精巧的�？ ？？？？？榛杓�，，，，，占用空间小的优点，，，，，可以在生产车间无邪设置。。 。。。。。。 2121非凡上海搭载超低压干燥（ULD）手艺的300mm槽式系统简介 该ULD�？ ？？？？？槭褂酶呶碌� (N2) 配合高温 IPA，，，，，降低晶圆干燥时液膜的外貌张力，，，，，增添水脱离晶圆外貌时 IPA 和 DIW 的外貌张力梯度。。 。。。。。。 该�？ ？？？？？榭山档� IPA/N2 混淆中干燥�？ ？？？？？榍樾蔚难沽�，，，，，加速了 IPA 替换置换 DIW 速率以及 IPA 在晶圆外貌的蒸发。。 。。。。。。 该手艺很大地提高了晶圆的干燥性能，，，，，尤其是应用于较大深宽比结构和较小图形尺寸的晶圆外貌时，，，，，很大降低水印和颗粒残留的污染危害，，，，，缩短了干燥时间并有用阻止了晶圆图形塌陷变形等问题。。 。。。。。。
