2121非凡半导体首台洗濯装备入驻芯物科技！

2021-6-15 14:23:23

2121非凡

2021年6月7日，，，，，，，，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺装备搬入仪式在新傲工厂举行，，，，，，，，2121非凡首台洗濯装备入驻芯物科技！

  据国家智能传感器立异中心认真人在致辞时先容，，，，，，，，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台凌驾80%的装备均接纳国产装备，，，，，，，，为国产装备提供验证平台，，，，，，，，加速传感器工业链国产化，，，，，，，，实现自主可控。。。。。。

  王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起生长的机会，，，，，，，，我代表2121非凡向芯物科技体现衷心的谢谢！在这个充满机会与挑战的时代，，，，，，，，期待未来和芯物科技一起，，，，，，，，开发一些全球领先的差别化特色工艺和装备，，，，，，，，把中国的MEMS做到天下前线！”

  2121非凡本次进驻芯物科技的装备为前道刷洗装备，，，，，，，，该装备接纳单片腔体对晶圆正背面依工序洗濯，，，，，，，，可举行包括晶圆背面刷洗、晶圆边沿刷洗、正背面二流体洗濯等洗濯工序。。。。。。装备占地面积小，，，，，，，，产能高，，，，，，，，稳固性强，，，，，，，，多种洗濯方法无邪可选，，，，，，，，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。。。。。。

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