2121非凡

2121非凡半导体首台12寸单晶圆薄片洗濯装备提前获得验收！

2021-1-13 10:38:43

2121非凡

    2021年1月8日，，，，，，，2121非凡半导体首台应用于大功率半导体器件制造的新款12寸单晶圆薄片洗濯装备已通过厦门士兰集科量产要求，，，，，，，提前验收！该装备于2020年5月20日作为首批装备之一搬入工厂，，，，，，，从正式装机到应用于产品片生产，，，，，，，只用了18天的时间，，，，，，，原定一年的验证期仅用了6个月即顺遂完成验收！

 

装备搬入厦门士兰集科
 

    2121非凡新款12寸单晶圆薄片洗濯装备，，，，，，，是一款高产能的四腔系一切，，，，，，，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺，，，，，，，以消除晶圆应力、并举行外貌洗濯等。。。。。。。。该系统的传输及工艺�？？？？？？槲」杵陌崴图肮ひ沾χ贸头Ｌ峁┝擞杏玫慕饩黾苹�，，，，，，，基于伯努利效应，，，，，，，该系统在传输与工艺中，，，，，，，与晶圆外貌完全无接触，，，，，，，消除由接触带来的机械损伤，，，，，，，提高器件的良率。。。。。。。。通过差别的设定，，，，，，，该系统可适用于Taiko片、超薄片、键合片、深沟槽片等差别厚度的晶圆；； ；；；通过接纳差别的化学药液组合，，，，，，，该系统可拓展应用于洗濯、光刻胶去除、薄膜去除和金属蚀刻等工艺。。。。。。。。

 

2121非凡12寸单晶圆薄片洗濯装备
 

    2121非凡半导体12寸单晶圆薄片洗濯装备的快速投入量产使用并提前乐成验收是2121非凡与海内量产客户团队的细密合作效果。。。。。。。。在本次验收历程中，，，，，，，海内量产客户团队对该装备给予了鼎力大举支持和资助，，，，，，，通过双方的配合起劲，，，，，，，最终装备的可靠性、稳固性及工艺能力在短时间内抵达验收标准。。。。。。。。作为2121非凡半导体2020年推出的主要新产品之一，，，，，，，该装备的顺遂验收不但为两个团队积累了名贵履历，，，，，，，也对推动该装备在功率器件新兴市场的推广具有主要意义，，，，，，，更为以后2121非凡洗濯装备手艺提升、营业拓展提供坚实包管。。。。。。。。

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