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2025-9-8 8:00:00
2121非凡上海总司理王坚体现：
KrF工艺前道涂胶显影装备Ultra Lith KrF的推出拓展了2121非凡上海在前端工艺装备领域的影响力，，，，，，，，体现了我们应对更普遍的光刻手艺挑战，，，，，，，，KrF光刻手艺仍是成熟工艺器件生产的焦点工艺，，，，，，，，我们相信此类装备在全球半导体产出中占比重大且一连增添 。。。。。 。。通过同时提供ArF和KrF工艺涂胶显影系统，，，，，，，，我们正在更普遍的应用领域中，，，，，，，，实现了顺畅的晶圆厂集效果率，，，，，，，，提升制造无邪性 。。。。。 。。
2121非凡上海推出的KrF工艺涂胶显影Track装备Ultra Lith KrF接纳无邪工艺模�？？？？？？？樯柚�，，，，，，，，配备12个旋涂腔和12个显影腔（12C12D），，，，，，，，并搭载54块可准确控温的热板，，，，，，，，支持低温、中温及高温工艺处置惩罚，，，，，，，，具备优异的热匀称性 。。。。。 。。该装备产能凌驾300片晶圆/小时（WPH），，，，，，，，并集成2121非凡上海专利申请中的背面颗粒去除模�？？？？？？？椋˙PRV），，，，，，，，有用降低交织污染危害 。。。。。 。。
别的，，，，，，，，集成的晶圆级异常检测（WSOI）模�？？？？？？？榭墒迪质凳惫ひ瘴蟛罴觳夂土悸室斐＜嗖�，，，，，，，，从而提高工艺稳固性和生产效率 。。。。。 。。
